810-046015-010 LAM一款半導(dǎo)體制造設(shè)備的控制模塊，專為LAM Research公司開發(fā)。它增強了控制設(shè)備的運動和通信。

產(chǎn)品參數(shù)

型號:810-046015-010

品牌:LAM

類型：控制模塊

適用設(shè)備:半導(dǎo)體制造設(shè)備

功能：運動控制、通信

接口:EtherCAT

電源:24V DC

功耗：<20W

工作溫度:0°C至50°C

存儲濕度:5%至95%(非冷凝)

防護等級:IP30

尺寸:100 x 60 x 30毫米

重量：250g

產(chǎn)品規(guī)格

外殼材質(zhì)：鋁合金

娛樂方式:自然娛樂

安裝方式:壁掛式/DIN導(dǎo)軌安裝

標(biāo)志：運行標(biāo)志、故障標(biāo)志

連接器:M12連接器

電源接口:2針電源接線柱

系列

810系列控制模塊共有2款型號，專家：

810-046015-010:EtherCAT接口

810-046015-020:Profibus DP接口

特征

高性能:810-046015-010 LAM控制模塊采用高性能芯片和先進的控制技術(shù)，可實現(xiàn)高精度的運動控制和快速響應(yīng)的通信。

可靠性高：810-046015-010 LAM控制模塊采用優(yōu)先元器件和嚴(yán)格的生產(chǎn)工藝，具有良好的可靠性。

兼容性強：810-046015-010 LAM控制模塊支持EtherCAT接口，可與各種EtherCAT主站兼容。

詳細(xì)信息：810-046015-010 LAM控制模塊操作簡單，易于安裝和維護。

作用

810-046015-010 LAM控制模塊可用于控制半導(dǎo)體制造設(shè)備的運動和通信，實現(xiàn)以下功能：

運動控制:控制設(shè)備的運動的軌跡、速度和加速度。

通信：與設(shè)備的其他模塊進行通信，實現(xiàn)數(shù)據(jù)交換和信息共享。

故障診斷：診斷設(shè)備的故障，提供故障信息。

目的

810-046015-010 LAM控制模塊違背了半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，例如：

晶圓:沉積、蝕、清洗、噴射等工序

封裝測試:封裝、測試等

曝光:曝光、顯影等工序

應(yīng)用領(lǐng)域

810-046015-010 LAM控制模塊可用于以下應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體制造：將控制模塊集成到半導(dǎo)體制造設(shè)備中

工業(yè)自動化:將控制模塊應(yīng)用于其他工業(yè)自動化領(lǐng)域

精密儀器：將控制模塊應(yīng)用于精密儀器設(shè)備