這些操作數應當被合適的配置以執(zhí)行特定的功能。只要按鈕被按下,操作數就保持確定狀態(tài),當按鈕被釋放后,操作數才返回。用100毫秒的返回延時來確保快速按鈕操作被可能將控制按鈕作為輸入使用的各個部分辯認。當按下一個控制按鈕時,一個事件將被記錄進事件記錄(如用戶設定的一樣)。當按鈕被釋放后沒有事件被記錄。面板上的鍵(包括控制鍵)不可以被同時操作蜒在按下一個按鍵之前必須釋放已按下的鍵。每個按鈕分別給出自己的啟用和停用操作數。應當利用靈活邏輯編程實現預定的按鈕行為。操作數的名字是按鈕1接通和按鈕1斷開。
UNIT MFC UFC-1661C N2 500 SCCM SIH4 MASS FLOW CONTROLLE
UNIT MFC UFC-1661C N2 90 SCCM MULTIFLO MASS FLOW CONTRO
UNIT MFC UFC-1661C N2 15 SLM MASS FLOW CONTROLLER
UNIT MFC UFC-1661C N2 2SLM MULTIFLO MASS FLOW CONTROLLE
UNIT MFC UFC-1661C N2 250 SCCM MULTIFLO MASS FLOW CONTR
UNIT MFC UFC-8100 N2 1 SLM MASS FLOW CONTROLLER ELASTOM
AERA MFC TC FC-D980C N2 200 SCCM MASS FLOW CONTROLLE
MKS SENSOR PRESSURE 621C11TBFHC 10 TORR
TEL TOKYO ELECTRON 2181-020010-17 PCB ASSY STC-P
ORIENTAL MOTOR VEXTA 5-PHASE STEPPING MOTOR UNIT UDX510
APPLIED MATERIALS MANIFOLD WAFER SOURCE 13″ SST 0050-2
APPLIED MATERIALS 0040-54102 LID,CHAMBER, 200MM
SMC HEC-MC8E-X87 CHILLER CONTROLLER
EUROTHERM 34774*11595 BAKE PANEL
TEL TOKYO ELECTRON 2110-334091-11 HEAT INSULATOR
Applied Materials PN 0190-08535 Shield Assembly
MKS 631B11TBFH CAPACITANCE MANOMETER 10 TORR











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